主要技术参数：
Ø适用产品：均热板
Ø工站数：4工站
Ø密封方式：D2气压快速密封
Ø真空系统：E2M28粗抽，E2M80+EH500精抽
Ø极限真空：1*10-4 Torr
Ø封口方式：油压一字封口
Ø冷水槽：2HP制冷水槽
Ø真空度检测：英福康皮拉尼真空计
Ø控制系统：三菱FX3U系列PLC+威纶7寸触摸屏
Ø设备电力：380V±10% / 8Kw / 50/60Hz
Ø使用压力：0.3~0.6Mpa 压缩空气
Ø外形尺寸：1600mm(长)*1000mm(宽)*1800mm(高)
